| 基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量 |
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| 引用本文： | 毕泽坤,徐先锋,王加栋,刘雨璇,张格涛,张志伟,白芬,张会. 基于两步广义相移干涉术的微纳形变测量[J]. 光学技术, 2018, 0(2): 252-256 |
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| 作者姓名： | 毕泽坤 徐先锋 王加栋 刘雨璇 张格涛 张志伟 白芬 张会 |
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| 作者单位： | 中国石油大学(华东)理学院; |
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| 摘 要： | 基于两步广义相移干涉术,设计微小形变测量实验装置,介绍工作原理和测量方法。采用同轴相移数字全息正交光路,记录形变前后物光、参光、干涉图强度,以两步广义相移干涉算法为基础,恢复原物光相位和表面形貌信息,相减后得到表面形变量。实验结果表明,相对于现有表面微小形变测量方法,提出得方法能够精密测量物体表面微小形变量,方法简单易行,精度可达纳米量级。
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| 关 键 词： | 两步广义相移干涉术 物光波前重建 微小形变测量 |
Minor surface deformation measurement based on two-step generalized phase-shifting interferometry |
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