太赫兹波段金属阵列结构的透射及反射宽谱偏振特性 |
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作者姓名: | 沈云 汪涛 汪云 邓晓华 曹俊诚 谭智勇 邹林儿 代国红 |
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作者单位: | 南昌大学物理学系;南昌大学空间科学与技术研究院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院太赫兹固态技术重点实验室 |
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摘 要: | 基于计算机仿真技术(CST)软件对二维金属光栅阵列在0.1~10THz波段的偏振特性进行了数值分析,利用光刻和金属薄膜工艺在500μm厚的高阻硅衬底上沉积了20nm厚的不同结构周期的金属铜光栅阵列,利用傅里叶变换光谱仪测量了该光栅阵列的透射及反射特性。结果表明:在太赫兹宽谱范围内,该光栅阵列的透射和反射都具有良好的偏振特性,且偏振特性范围可通过调整结构周期进行调节;该研究对太赫兹偏振器的进一步研究及应用提供了参考。
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