| 基于综合光谱法的污染物颗粒诱导光学元件损伤研究 |
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| 作者姓名： | 丁坤艳 何长涛 刘志刚 肖婧 冯国英 周凯南 谢娜 韩敬华 |
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| 作者单位： | 四川大学电子信息学院,四川 成都 610065;四川九洲电器集团有限责任公司,四川 绵阳 621000;中国工程物理研究院等离子体物理重点实验室,四川 绵阳 621999 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(U2030108,U2004162); |
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| 摘 要： | K9玻璃具有硬度高、热稳定性好、膨胀系数小以及较高的透过率等特性,被广泛应用在高功率激光领域。光学元件污染物诱导损伤问题成为限制高功率激光器发展的瓶颈之一,深入研究光学元件的损伤机理对于控制损伤的形成具有重要意义。为探究损伤机理,利用光谱探测分析对Al2O3诱导K9玻璃激光损伤的机制进行了研究。即采用EDS能谱探测技术对损伤前后损伤形貌及元素原子百分比变化进行探究,进而了解损伤过程中发生的物理变化及烧蚀化学变化,并结合LIBS技术对损伤过程中的电离过程进行诊断和讨论。实现了对光学元件损伤原理的探究以及光学元件安全的实时监测。研究结果表明,在激光诱导污染物至K9玻璃损伤的过程中,Al2O3颗粒形貌发生变化,K9玻璃也有微形损伤坑的出现。此外,Al2O3颗粒元素原子百分比含量由于颗粒的变形而发生改变,K9基底中含有的Na2O与氧气结合造成了O元素原子百分比含量升高,SiO2会发生气化-凝结成超细颗粒导致Si元素原子百...
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| 关 键 词： | 激光损伤机理 激光诱导击穿光谱 能量色散光谱分析法 氧化铝颗粒 |
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