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| 一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法 | |
| 引用本文： | 路秀琴,刘建成,郭继宇,张庆祥,黄治,张振龙,郭刚,沈东军,惠宁,倪嵋楠,孔福全,韩建伟.一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法[J].中国物理 C,2004,28(Z1). |
| 作者姓名： | 路秀琴 刘建成 郭继宇 张庆祥 黄治 张振龙 郭刚 沈东军 惠宁 倪嵋楠 孔福全 韩建伟 |
| 作者单位： | 1 中国原子能科学研究院核物理所 北京 102413;2 中国科学院空间科学与应用研究中心 北京 100080 |
| 摘 要： | 介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(SEU)灵敏体积(SV)厚度d的方法.用从低到高不同能量的重离子辐照微电子器件, 测量其SEU截面随离子射程的变化曲线σseu(r), 用数学计算从σseu(r)和LET(r)函数提取d. 利用测得的d和σseu(LET), 经过模型计算可得到更精确的空间SEU率的预言值. |
| 关 键 词： | 单粒子效应 灵敏体积 重离子 |
| 收稿时间： | 2004-12-30 |
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