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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
一种实验确定微电子器件灵敏体积的方法
作者姓名:
路秀琴
刘建成
郭继宇
张庆祥
黄治
张振龙
郭刚
沈东军
惠宁
倪嵋楠
孔福全
韩建伟
作者单位:
1 中国原子能科学研究院核物理所 北京 102413;2 中国科学院空间科学与应用研究中心 北京 100080
摘 要:
介绍一种实验确定微电子器件单粒子翻转(SEU)灵敏体积(S
V
)厚度d的方法.用从低到高不同能量的重离子辐照微电子器件, 测量其SEU截面随离子射程的变化曲线σ
seu
(r), 用数学计算从σ
seu
(r)和LET(r)函数提取d. 利用测得的d和σ
seu
(LET), 经过模型计算可得到更精确的空间SEU率的预言值.
关 键 词:
单粒子效应
灵敏体积
重离子
收稿时间:
2004-12-30
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