| 椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理 |
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| 引用本文： | 王洪涛. 椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理[J]. 物理实验, 2001, 21(7): 8-11,17 |
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| 作者姓名： | 王洪涛 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学系,成都,610064 |
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| 摘 要： | 利用实时作图的方法，开发设计了椭偏仪数据处理应用程序，该程序不但具有传统查图法简便直观的特点，而且不限制实验条件的选择，能够满足科学研究和实验教学的要求，利用该程序和多入射角测量方法，能够确定薄膜的真实厚度。
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| 关 键 词： | 椭圆偏振 测量 椭偏仪 计算机数据处理 薄膜材料 光学参量 |
Ellipsometer data processing for thin film measurement |
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| WANG Hong tao. Ellipsometer data processing for thin film measurement[J]. Physics Experimentation, 2001, 21(7): 8-11,17 |
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| Authors: | WANG Hong tao |
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| Abstract: | An integrated software for ellipsometer data processing is introduced. With real time graphic construction, this software successfully solves the difficulties in ellipsometer data processing. It is a helpful tool for research work and educational purpose. With this software, the real thickness of thin films is determined by multiple incident angle measurement. |
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| Keywords: | ellipsometry ellipsometer software thin film optical parameter |
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