基于多光束干涉的长程轮廓仪 |
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引用本文: | 李晶,巩岩,廖家胜,张巍.基于多光束干涉的长程轮廓仪[J].光学学报,2014(3):259-265. |
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作者姓名: | 李晶 巩岩 廖家胜 张巍 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;应用光学国家重点实验室;中国科学院大学; |
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基金项目: | 国家自然科学基金青年科学基金(41104122);科技部国际合作项目(2011DFR10010) |
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摘 要: | 为提高长程轮廓仪(LTP)面型检测的精度,提出一种使用波面型等光程多光束分束器的LTP。该分束结构可将入射光束分成若干束等光强等光程的相干光。在理论上分析计算了傅里叶变换(FT)透镜焦平面上干涉条纹的位置和强度分布,探究了零级干涉主极大条纹宽度、振幅和±1级干涉主极大条纹振幅与多光束分束器各结构参数之间的关系。通过选取合适的参数设计了基于多光束干涉原理的新型分束器,并与传统分束器进行了仿真实验比较,设计了测量系统中的准直镜和FT透镜,在Zemax软件中建立了完整的光学系统模型,并对该模型进行了实验验证。结果表明多光束干涉长程轮廓仪可以实现对被测表面斜率的测量,其在探测面上的干涉条纹宽度比传统双光束干涉窄,光强也更加集中,可以提高LTP的测量精度。
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关 键 词: | 测量 长程轮廓仪 分束器 多光束干涉 |
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