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基于MEMS线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪
引用本文:高志帆,曾立波,石磊,李凯,杨远洲,琼水. 基于MEMS线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪[J]. 光谱学与光谱分析, 2014, 34(6): 1711-1715
作者姓名:高志帆  曾立波  石磊  李凯  杨远洲  琼水
作者单位:高志帆:武汉大学电子信息学院, 湖北 武汉430079
曾立波:武汉大学电子信息学院, 湖北 武汉430079
石磊:武汉大学电子信息学院, 湖北 武汉430079
李凯:武汉大学电子信息学院, 湖北 武汉430079
杨远洲:武汉大学电子信息学院, 湖北 武汉430079
琼水:武汉大学电子信息学院, 湖北 武汉430079
基金项目:国家科技支撑计划课题(2011BAF02B02), 中国石油科技创新基金项目(2012D-5006-0102), 中央高校基本科研业务费专项资金项目(2012212020209)资助
摘    要:针对传统光谱测油仪存在的环境适应能力弱、分析速度慢、测量重复性差等问题,研制了一种便携式中红外水中油浓度速测仪。其核心光路采用典型的非对称折叠式M型Czerny-Turner光学结构,有效缩小仪器体积;使用周期性转动的斩光器调制红外光源,并对斩光器转速进行数字PID控制,调制精度达到±0.5%;采用固定光栅作为分光元件,无需光栅扫描装置且不存在转动误差;利用新型MEMS红外线传感器阵列探测调制后的光谱信号,显著提高光谱采集速度。光学仿真及实验结果表明仪器光谱范围为2 800~3 200cm-1,光谱分辨率达到6cm-1(@3 130cm-1),信噪比达到5 200∶1,谱图采集速度为13ms·幅-1,吸光度标准偏差优于3×10-3,满足了水中油测定国家标准要求。与已有红外光谱测油仪相比,该仪器小型便携,分析速度快,测量精度高,抗震防潮性能好,特别适用于环境监测部门对水中油浓度的现场实时测量,因此在水质监测领域具有广阔的应用前景。

关 键 词:光谱仪  MEMS  线传感器阵列  中红外  水中油
收稿时间:2013-08-05

Development of a Portable Mid-Infrared Rapid Analyzer for Oil Concentration in Water Based on MEMS Linear Sensor Array
GAO Zhi-fan;ZENG Li-bo;SHI Lei;LI Kai;YANG Yuan-zhou;WU Qiong-shui. Development of a Portable Mid-Infrared Rapid Analyzer for Oil Concentration in Water Based on MEMS Linear Sensor Array[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2014, 34(6): 1711-1715
Authors:GAO Zhi-fan  ZENG Li-bo  SHI Lei  LI Kai  YANG Yuan-zhou  WU Qiong-shui
Affiliation:GAO Zhi-fan;ZENG Li-bo;SHI Lei;LI Kai;YANG Yuan-zhou;WU Qiong-shui;Electronic Information School,Wuhan University;
Abstract:
Keywords:spectrometer  MEMS  linear sensor array  mid infrared  oil in water
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