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| 激光、激光技术 激光应用 激光化学 | |
| 摘 要： | O644.18 2006032084激光化学液相次序选择腐蚀新方法=A new order-selec-tive etching method in laser induced wet-chemical etching刊,中]/刘霖(电子科技大学光电信息学院.四川,成都(610054)) ,叶玉堂…∥中国激光.—2006 ,33(1) .—49-52提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法—次序选择腐蚀法。次序选择腐蚀是指在激光化学液相腐蚀中,腐蚀溶剂不是混合后同时作用于基片,而是按照溶剂的性能,分先后对基片进行腐蚀。实质是是采用微处理(表面处理)再进行混合液相激光辅助下的腐蚀。理论分析和实验结果都表明,与国内外研究普遍采用的混合溶剂… |
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