| 具有快速分离效果多道微型气相色谱柱 |
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| 引用本文： | 李臆,杜晓松,高超,郭攀,程璐婳,蒋亚东.具有快速分离效果多道微型气相色谱柱[J].分析试验室,2014(4):493-496. |
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| 作者姓名： | 李臆 杜晓松 高超 郭攀 程璐婳 蒋亚东 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院;电子薄膜与集成器件国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(61176066,61101031);国家高技术研究发展863计划(SS2013AA062810)资助 |
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| 摘 要： | 采用MEMS技术设计了一种多道微型气相色谱柱,运用深槽刻蚀技术(DRIE),对器件刻蚀深400μm,微型色谱柱总长度为50cm,每道宽40μm,4道多道柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE-54固定相。将多道色谱柱与30 m长的安捷伦HP-5毛细管柱多道色谱柱比较,烷烃混合物在两种柱内都被完全分离,混合物在多道柱内的保留时间比在毛细管柱内缩短了两倍,塔板数达到15342 plates/m,是毛细管柱的3倍。多道色谱柱被用于分离苯,甲苯及苯酚致癌组分,所有组分在1 min之内被完全分离。在时间上比之前报道的6 m长微型色谱柱缩短了3倍,实现了快速分离效果。
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| 关 键 词： | 微气相色谱柱 多道柱 MEMS 快速分离 分离效率 |
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