| 铌酸锂薄膜调制器的研究进展 |
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| 引用本文： | 刘海锋,郭宏杰,谭满清,李智勇. 铌酸锂薄膜调制器的研究进展[J]. 中国光学, 2022, 0(1): 1-13 |
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| 作者姓名： | 刘海锋 郭宏杰 谭满清 李智勇 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;中国科学院大学材料科学与光电技术学院 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(No.2019YFB2203802);国家自然科学基金资助项目(No.61934007)。 |
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| 摘 要： | 铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点，在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值，是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展，总结了LN薄膜波导的制备工艺，并深入分析了不同结构调制器的性能。基于SOI和LNOI结构，薄膜调制器实现了V_πL<2 V·cm，双锥形耦合方案实现了耦合损耗<0.5 dB/facet，行波电极结构实现了调制带宽>100 GHz。铌酸锂薄膜调制器的性能在大多数方面优于目前商用铌酸锂调制器，随着波导工艺进一步提升，将成为铌酸锂调制器的热门方案。最后对铌酸锂薄膜调制器的发展趋势和应用前景进行了展望。
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| 关 键 词： | 铌酸锂薄膜 LNOI 电光调制器 |
Research progress of lithium niobate thin-film modulators |
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| LIU Hai-feng,GUO Hong-jie,TAN Man-qing,LI Zhi-yong. Research progress of lithium niobate thin-film modulators[J]. Chinese Optics, 2022, 0(1): 1-13 |
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| Authors: | LIU Hai-feng GUO Hong-jie TAN Man-qing LI Zhi-yong |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;College of Materials Science and Opto-electronics Technology,University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | lithium niobate thin-film LNOI electro-optic modulator |
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