Bestimmung von Kohlenstoff in Halbleiter-Silicium

Zusammenfassung Es wird ein Verfahren zur Kohlenstoffbestimmung in Silicium vorgeschlagen, das nur einen geringen apparativen Aufwand erfordert. Hierbei wird die Probe in Natronlauge gelöst, der ungelöste Kohlenstoff wird abzentrifugiert und mit einem Gemisch aus Blei(II)-chlorid und Blei(II)-chromat zu Kohlendioxid umgesetzt, dessen Volumen gemessen und auf Kohlenstoff umgerechnet. Mengen von 25–100 g C/g Si konnten mit hinreichender Genauigkeit bestimmt werden. Es wurde ein mittlerer systematischer Fehler von –26% festgestellt, wÄhrend die durchschnittliche Abweichung der Einzelbestimmung vom Mittelwert ± 8% betrÄgt.

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Summary A method is proposed for the determination of carbon in silicon, requiring only simple instrumental means. The sample is dissolved in NaOH solution, undissolved carbon is separated by centrifuging, converted to carbon dioxide by reaction with a mixture of lead(II) chloride and lead(II) chromate and the carbon content is calculated from the volume of the CO₂. Amounts of 25–100 g of C/g Si can be determined with sufficient accuracy. An average systematic error of –26% has been found, whereas the average deviation of a single determination is ± 8%.

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Fräulein S. Rieger danke ich für ihre Mitarbeit. Den Herren Dr. Wartennbrg und Dr. Schoepp danke ich für anregende Diskussionen.