| 应用于5 V电压电路的新型闩锁免疫LVTSCR |
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| 引用本文： | 王松岩,范晓梅,朱治华,张英韬,王耀,刘俊杰,陈睿科. 应用于5 V电压电路的新型闩锁免疫LVTSCR[J]. 微电子学, 2022, 52(1): 120-124 |
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| 作者姓名： | 王松岩 范晓梅 朱治华 张英韬 王耀 刘俊杰 陈睿科 |
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| 作者单位： | 郑州大学 信息工程学院, 郑州 450000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61874098) |
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| 摘 要： | 传统低压触发可控硅(LVTSCR)维持电压过低,应用于片上ESD防护时存在闩锁风险。文章提出了一种嵌入分流路径的LVTSCR。基于0.18 μm CMOS工艺,使用Sentaurus-TCAD软件模拟人体模型,对器件准静态特性进行了分析。结果表明,新型器件在保持触发电压、ESD防护性良好的情况下,有效提高了维持电压。对关键尺寸D6进行优化,该器件的维持电压提高到5.5 V以上,器件可安全应用于5 V电压电路,避免了闩锁效应。
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| 关 键 词： | 静电放电 可控硅 维持电压 闩锁 分流 |
| 收稿时间： | 2021-06-15 |
A Novel Latch-Up-Immune LVTSCR for 5 V Operating Voltage Circuit |
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| WANG Songyan,FAN Xiaomei,ZHU Zhihu,ZHANG Yingtao,WANG Yao,LIOU Junjie,CHEN Ruike. A Novel Latch-Up-Immune LVTSCR for 5 V Operating Voltage Circuit[J]. Microelectronics, 2022, 52(1): 120-124 |
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| Authors: | WANG Songyan FAN Xiaomei ZHU Zhihu ZHANG Yingtao WANG Yao LIOU Junjie CHEN Ruike |
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| Affiliation: | School of Information Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450000, P. R. China |
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