Zernike环多项式分析光电经纬仪主镜变形 |
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引用本文: | 孟轩,乔彦峰,何锋赟,孙宁,蔡盛.Zernike环多项式分析光电经纬仪主镜变形[J].激光与光电子学进展,2013(7):95-101. |
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作者姓名: | 孟轩 乔彦峰 何锋赟 孙宁 蔡盛 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学 |
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摘 要: | 研究了用Zernike环多项式分析光电经纬仪主反射镜变形的方法。首先推导了将有限元分析的变形结果转换成基于波前坐标系的数据形式的转换公式,然后用Zernike环多项式对某光电经纬仪主反射镜的变形进行拟合,计算了主反射镜变形引起的面形误差的峰-谷值(30.7nm)和面形误差均方根值(6.3nm),与实际测量结果相比误差分别为9.2%和10.5%。根据Zernike环多项式系数与Seidel多项式系数的关系,得到了主反射镜变形对光学系统像差造成的影响。将Zernike环多项式系数导入光学系统分析软件Zemax中,可对主反射镜变形后的光学系统进行综合分析,为光学系统修正提供参考。
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关 键 词: | 光学设计 Zernike环多项式 光电经纬仪 主反射镜 有限元分析 拟合 |
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