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| 高能离子注入及其应用 | |
| 引用本文： | 林森浩,王玟珉.高能离子注入及其应用[J].物理,1990,19(6):345-348,336. |
| 作者姓名： | 林森浩 王玟珉 |
| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所 (林森浩)，中国科学院上海原子核研究所(王玟珉) |
| 摘 要： | 本文介绍了高能离子（Ｍｅｖ／ａｍｕ）与固体相互作用的特点，综述了近几年来高能离子注入技术在制备多层结构晶体管、减少载流子寿命、材料表面改性及增强薄膜与基体粘着力等方面的研究概况． |
| 关 键 词： | 高能离子 离子注入 |
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