| 退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响* |
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| 引用本文： | 王 剑,安 燕,刘明华,刘久玲,何世堂.退火温度对声表面波检测器电极 表面粗糙度的影响*[J].应用声学,2019,38(1):129-133. |
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| 作者姓名： | 王 剑 安 燕 刘明华 刘久玲 何世堂 |
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| 作者单位： | 天津航海仪器研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所 |
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| 基金项目： | 国家重点研发子课题项目 (2017YFC0803603-Z04) |
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| 摘 要： | 该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化,实验中分别选择常温(25?C)、200?C和300?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火,最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看,退火温度为200?C时,得到的电极表面粗糙度最大。该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础。
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| 关 键 词： | 声表面波，粗糙度，退火温度，传感器 |
| 收稿时间： | 2018/11/16 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2018/12/20 0:00:00 |
The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the surface acoustic wave detectors |
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| WANG Jian,AN Yan,LIU Minghu,LIU Jiuling and Shitang He.The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the surface acoustic wave detectors[J].Applied Acoustics,2019,38(1):129-133. |
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| Authors: | WANG Jian AN Yan LIU Minghu LIU Jiuling and Shitang He |
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| Institution: | Institute of Navigation Instrument of Tianjin,Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences,Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences,Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences and Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness was studied. The electrode surface roughness of the SAW detector was changed by annealing at different temperatures. 25°C, 200°C and 300°C were chosen for this experiment. From the experimental results, when annealing temperature is 200°C, the electrode surface roughness is the largest. |
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| Keywords: | Surface acoustic wave Surface Roughness Annealing Temperature Sensor |
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