磷化铟汽相外延

本文对 PCl_3-H_2-In 体系外延生长的热力学进行了计算。对影响外延生长速度的因素进行了详尽的讨论,发现竞争生长是影响生长速度重复性的重要因素。给出了铟舟状态对外延层纵向浓度分布影响的实验结果。并就衬底制备、工艺条件对迁移率的影响进行了讨论。