| 一种提高DWDM干涉滤光片镀膜有效面积的方法 |
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| 引用本文： | 鞠,兵,马,孜,蔡邦维.一种提高DWDM干涉滤光片镀膜有效面积的方法[J].激光与红外,2003,33(6):463-465. |
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| 作者姓名： | 鞠 兵 马 孜 蔡邦维 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学电子信息学院,四川,成都,610064
2. 西南技术物理研究所,四川,成都,610064 |
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| 摘 要： | 通过有限元法分析膜厚均匀性,提出一种提高DWDM 镀膜有效面积的方法———首先
找到对蒸发膜料发射特性n 最不敏感的镀膜机基板高度h ,然后加入挡板修正膜厚均匀性,通过该方法,可使镀膜有效面积提高数十倍。并讨论了挡板加工精度对膜厚均匀性的影响。
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| 关 键 词： | DWDM干涉滤光片 有限元法 膜厚均匀性 挡板 有效面积 |
| 文章编号： | 1001-5078(2003)06-0463-03 |
| 修稿时间： | 2003年5月23日 |
A Method to Enlarge the Effective Area of DWDM Filter |
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| JU Bing,MA Zi,CAI Bang-wei.A Method to Enlarge the Effective Area of DWDM Filter[J].Laser & Infrared,2003,33(6):463-465. |
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| Authors: | JU Bing MA Zi CAI Bang-wei |
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| Institution: | JU Bing~1,MA Zi~2,CAI Bang-wei~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DWDM filter finite-elements method uniformity mask effective area |
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