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杂志ISSN号
同步辐射光刻曝光均匀性测量
作者姓名:
钱石南
刘泽文
阚娅
刘万波
作者单位:
中国科技大学同步辐射加速器(钱石南,刘泽文,阚娅),中国科技大学同步辐射加速器(刘万波)
摘 要:
曝光均匀性是同步辐射光刻的一个重要参数,均匀性测量是一个重要课题。本文给出了光强均匀性的两种测量方法。其一是利用双光栅莫尔条纹信号进行在线实时测量。即将指示光栅固定于扩束用的扫描反射镜上,随扫描反射镜以大于25Hz的频
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