| ZnO·TiO2双层复合薄膜的制备及其光学性能的研究 |
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| 引用本文： | 蔺冬雪,赵莉,王媛媛,王玉新.ZnO·TiO2双层复合薄膜的制备及其光学性能的研究[J].大学物理实验,2022(1):25-29. |
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| 作者姓名： | 蔺冬雪 赵莉 王媛媛 王玉新 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学物理与电子技术学院 |
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| 基金项目： | 辽宁省教育厅科学研究基金项目(LJ2019006)； |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),分别以乙酸锌(Zn(CH3COO)2H2O)、钛酸酊酯(Ti(OC4H9)4)为锌源和钛源，在玻璃衬底以及硅衬底上制备了不同浓度的、均匀的、结晶质量良好的单层ZnO、TiO2薄膜及双层的ZnO·TiO2复合薄膜。结果表明，所制备的单层本征ZnO、TiO2薄膜分别沿(002)、(101)晶面生长，且当本征ZnO、TiO2的浓度分别为0.45 mol/L、0.65 mol/L时，择优取向生长最明显。ZnO·TiO2复合薄膜的(101)、(004)特征峰明显，且0.45 mol/L/0.55 mol/L的双层ZnO·TiO2复合薄膜结晶质量最好；薄膜表面最为平整，粒子分布均匀，粘连现象最少；对紫外光的吸收最强，禁带宽度为3.39 eV。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 TiO2薄膜 溶胶-凝胶法 双层复合薄膜 光学性能 |
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