基于光程调制的多差动共聚焦显微技术研究

为解决传统共焦显微系统的分辨力与线性量程不能兼顾的问题，提出了基于变光程技术的多差动共焦显微技术，利用光程的调制在单探测光路中实现轴向响应曲线相对于焦平面的对称相移的方式，仅需要调整单一参数就可获得不同离焦量的响应曲线，实现具有绝对零点、线性度好的多差动光路系统，从而实现在同一系统中对高分辨力与大量程的兼容。该技术减少了元器件性能差异和人为装调误差，结构简单，提高了可靠性。实验表明：系统可兼顾分辨力与线性量程，轴向分辨力可达6.46 nm。为微细结构的测量提供了一种精度高、结构简单、应用场合广泛的技术。