基于As40Se60硫系玻璃的长波红外增透膜研制 |
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引用本文: | 刘卓,张友良,李刚,杨伟声,王雪颖,谢启明,杨晓京.基于As40Se60硫系玻璃的长波红外增透膜研制[J].激光与光电子学进展,2023(5):418-424. |
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作者姓名: | 刘卓 张友良 李刚 杨伟声 王雪颖 谢启明 杨晓京 |
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作者单位: | 2. 昆明理工大学机电工程学院 |
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摘 要: | As40Se60硫系玻璃基底沉积红外光学薄膜存在牢固性不足的缺点,以膜层牢固性为研究对象来解决膜层附着力问题。首先选择了合适的膜层材料,完成了膜系的设计及优化;然后以沉积温度为影响因素进行单因素实验,研究了ZnS连接层的镀制工艺和残余应力,采用无离子源辅助的办法降低了连接层的残余应力,提高了膜层附着力;最终解决了较高温度下的薄膜脱膜问题,研制了一种透过波段为8~12μm的红外增透膜,并确定了镀制工艺运用于实际生产。所制备的薄膜平均透过率为98%、平均反射率为0.6%,附着力、高低温、湿热实验满足GJB2845—1995标准中的要求。
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关 键 词: | 薄膜 增透膜 硫系玻璃 连接层 红外光学 残余应力 |
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