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| 用X射线全反射法测量U基Al膜的厚度与密度分布 | |
| 引用本文： | 王勤国,张延志,管卫军.用X射线全反射法测量U基Al膜的厚度与密度分布[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):413-413. |
| 作者姓名： | 王勤国 张延志 管卫军 |
| 摘 要： | 利用全反射法分析了U基铝薄膜的反射曲线，以及厚度与密度分布和基体的表面粗糙度情况，讨论了掠射角在临界角或者小于、大于临界角的反射强度情况，并且分析了薄膜的全反射的原理和数据处理方法。 |
| 关 键 词： | 密度分布 反射法 厚度 Al膜 X射线 测量 数据处理方法 表面粗糙度 |
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