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基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究
引用本文:薛庆生,王淑荣.基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究[J].光谱学与光谱分析,2013,32(5):1433-1437.
作者姓名:薛庆生  王淑荣
作者单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033
摘    要:根据凹面光栅的几何像差理论,提出了一种基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计方法,该方法利用遗传算法和光学设计软件ZEMAX两次优化来获得最优的光学结构参数。以设计一个远紫外成像光谱仪为实例,工作波段110~180nm,狭缝尺寸50μm×5mm,数值孔径0.1,利用ZEMAX软件对设计结果进行了分析和评价,结果表明,不同波长的光学传递函数在奈奎斯特频率101P/mm处均大于0.7,点列图半径的均方根值小于14μm,在工作波段内获得了良好的成像质量,满足空间分辨率0.5mrad,光谱分辨率0.6nm的设计要求,也证明了该优化设计方法是可行的,可在其他波段推广应用,对光栅色散型成像光谱仪的设计具有指导意义。

关 键 词:成像光谱仪  光学设计  超环面均匀线距光栅  遗传算法  ZEMAX

Optimum Design of Imaging Spectrometer Based on Toroidal Uniform-Line-Spaced(TULS) Spectrometer
XUE Qing-sheng , WANG Shu-rong.Optimum Design of Imaging Spectrometer Based on Toroidal Uniform-Line-Spaced(TULS) Spectrometer[J].Spectroscopy and Spectral Analysis,2013,32(5):1433-1437.
Authors:XUE Qing-sheng  WANG Shu-rong
Institution:Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China
Abstract:
Keywords:
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