| 基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究 |
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| 引用本文： | 薛庆生,王淑荣.基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计研究[J].光谱学与光谱分析,2013,32(5):1433-1437. |
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| 作者姓名： | 薛庆生 王淑荣 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033 |
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| 摘 要： | 根据凹面光栅的几何像差理论,提出了一种基于超环面均匀线距光栅的成像光谱仪优化设计方法,该方法利用遗传算法和光学设计软件ZEMAX两次优化来获得最优的光学结构参数。以设计一个远紫外成像光谱仪为实例,工作波段110～180nm,狭缝尺寸50μm×5mm,数值孔径0.1,利用ZEMAX软件对设计结果进行了分析和评价,结果表明,不同波长的光学传递函数在奈奎斯特频率101P/mm处均大于0.7,点列图半径的均方根值小于14μm,在工作波段内获得了良好的成像质量,满足空间分辨率0.5mrad,光谱分辨率0.6nm的设计要求,也证明了该优化设计方法是可行的,可在其他波段推广应用,对光栅色散型成像光谱仪的设计具有指导意义。
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| 关 键 词： | 成像光谱仪 光学设计 超环面均匀线距光栅 遗传算法 ZEMAX |
Optimum Design of Imaging Spectrometer Based on Toroidal Uniform-Line-Spaced(TULS) Spectrometer |
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| XUE Qing-sheng
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WANG Shu-rong.Optimum Design of Imaging Spectrometer Based on Toroidal Uniform-Line-Spaced(TULS) Spectrometer[J].Spectroscopy and Spectral Analysis,2013,32(5):1433-1437. |
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| Authors: | XUE Qing-sheng WANG Shu-rong |
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| Institution: | Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China |
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