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微波ECR等离子体溅射沉积Ti薄膜的结构研究

引用本文：	吴雪梅,邬饮崇.微波ECR等离子体溅射沉积Ti薄膜的结构研究[J].苏州大学学报(医学版),1992,8(3):298-302.

作者姓名：	吴雪梅邬饮崇

摘要：
关键词：	电子回旋共振等离子体 Ti薄膜
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