| 溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究 |
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| 引用本文： | 贾建峰,黄凯,潘清涛,贺德衍.溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究[J].物理学报,2005,54(9). |
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| 作者姓名： | 贾建峰 黄凯 潘清涛 贺德衍 |
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| 基金项目： | 高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划 |
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| 摘 要： | 采用改进的溶胶-凝胶方法在单晶Si(100)衬底上制备了介电性能优异的(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3 异质薄膜.实验发现,在750 ℃下、O2气氛中晶化的LaNiO3薄膜的电阻率最小.C-V与I-V特性测量表明(Ba0.7Sr0.3)TiO3薄膜具有优异的介电性能,在频率为50 kHz、零偏压下的相对介电常数εr>300,偏压为6 V时漏电流密度JL<1.2×10-6 A/cm2.
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| 关 键 词： | (BaxSr1-x)TiO3铁电薄膜 LaNiO3底电极 溶胶-凝胶法 |
Structures and dielectric properties of (Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3 hetero-structure films prepared by sol-gel technique |
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| JIA Jian-Feng,Huang Kai,Pan Qing-Tao,HE DE-YAN.Structures and dielectric properties of (Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3 hetero-structure films prepared by sol-gel technique[J].Acta Physica Sinica,2005,54(9). |
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| Authors: | JIA Jian-Feng Huang Kai Pan Qing-Tao HE DE-YAN |
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