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| 运用PLC取代扩散炉8016工艺控制器 | |
| 引用本文： | 钱志刚.运用PLC取代扩散炉8016工艺控制器[J].微电子技术,2000,28(6):55-57. |
| 作者姓名： | 钱志刚 |
| 作者单位： | 中国华晶电子集团公司双极电路总厂!江苏无锡214061 |
| 摘 要： | 本文主要介绍了运用PLC取代扩散炉8016工艺控制器的原因、方法和效果，详细阐述了PLC的性能、优点、结构以及工作原理等。 |
| 关 键 词： | 可编程控制器 工艺控制器 半导体设备 扩散炉 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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