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200~1 100 nm光响应测试系统的研制
引用本文:陈武,王勇,王水弟.200~1 100 nm光响应测试系统的研制[J].半导体光电,2000,21(4):291-292,295.
作者姓名:陈武  王勇  王水弟
作者单位:清华大学微电子学研究所!北京100084(陈武,王勇,王水弟,单一林),DetectionTechnologyInc.!Finland(MikkoMatikkala)
摘    要:设计并制作了200~1100nm的光响应测试系统,该系统工作稳定可靠,并可消除光源拌动和突发性光源对测试的影响。

关 键 词:紫外光  光响应  测试系统  光探测器
文章编号:1001-5868(2000)04-0291-02
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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