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氧离子对在孔中填充SiO2的影响

引用本文：	特兵.氧离子对在孔中填充SiO2的影响[J].等离子体应用技术快报,1994(7):19-20.

作者姓名：	特兵

摘要：
关键词：	氧离子对孔填充二氧化硅薄膜电介质沉积
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