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薄的SiO2薄膜的等离子体氮体
引用本文:
刘庚胥,普丁.薄的SiO2薄膜的等离子体氮体[J].等离子体应用技术快报,1994(12):15-16.
作者姓名:
刘庚胥
普丁
摘 要:
关 键 词:
二氧化硅薄膜
氮化
等离子体
薄膜
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