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薄的SiO2薄膜的等离子体氮体

引用本文：	刘庚胥,普丁.薄的SiO2薄膜的等离子体氮体[J].等离子体应用技术快报,1994(12):15-16.

作者姓名：	刘庚胥普丁

摘要：
关键词：	二氧化硅薄膜氮化等离子体薄膜
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