| 干涉显微镜测量表面粗糙度条纹的自动处理 |
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| 引用本文： | 陈晓梅 龙祖洪. 干涉显微镜测量表面粗糙度条纹的自动处理[J]. 光学学报, 1993, 13(11): 040-1044 |
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| 作者姓名： | 陈晓梅 龙祖洪 |
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| 作者单位： | 长城计量测试技术研究所 北京100095(陈晓梅)，长城计量测试技术研究所 北京100095(龙祖洪) |
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| 摘 要： | 本文介绍了用干涉显微镜对表面粗糙度检测时干涉条纹的计算机处理过程，其中采用灰度阈值分割法进行干涉图像二值化处理，采用边界描迹法萃取干涉条纹边界线，可对高度偏差≤λ／２的表面粗糙度进行测量。
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| 关 键 词： | 表面粗糙率 干涉显微镜 图象处理 |
| 收稿时间： | 1992-07-27 |
Automatic processing of interferogram from surface roughness measuring interferometer |
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| CHEN Xiaomei LONG Zuhong. Automatic processing of interferogram from surface roughness measuring interferometer[J]. Acta Optica Sinica, 1993, 13(11): 040-1044 |
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| Authors: | CHEN Xiaomei LONG Zuhong |
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| Abstract: | Computer-based processing of interferogram of surface roughness measuring interferometer are introduced in the paper, in which threshold segmenting of brightness are used for binary image processing and border following for edge curve sampling. |
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| Keywords: | interferometry image processing surface roughness. |
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