| 探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统 |
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| 引用本文： | 赵成强,徐文东,洪小刚,李小刚,唐晓东.探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统[J].光学学报,2009,29(2). |
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| 作者姓名： | 赵成强 徐文东 洪小刚 李小刚 唐晓东 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
2. 华东师范大学信息科学技术学院,上海,200241 |
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| 基金项目： | 上海市基础性研究重大项目，国家自然科学基金重大项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统.此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果.系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制.通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性.研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考.
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| 关 键 词： | 光刻 表面等离子体共振 原子力显微镜 探针 |
Probe Inducing Surface Plasmon Resonance Nanolithographic System |
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| Zhao Cheng-qiang,Xu Wen-dong,Hong Xiao-gang,Li Xiao-gang,Tang Xiao-dong.Probe Inducing Surface Plasmon Resonance Nanolithographic System[J].Acta Optica Sinica,2009,29(2). |
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| Authors: | Zhao Cheng-qiang Xu Wen-dong Hong Xiao-gang Li Xiao-gang Tang Xiao-dong |
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