提高自动对准信号放大倍率的技术措施

本文阐明信号放大倍率与图像识别法自动对准精度之间的内在联系，分析指出提高放大倍率的技术难点和解决办法，给出了满足０．１５μｍ自动对准精度的信号提取方案及实验结果。