| 电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计 |
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| 引用本文： | 宋朝辉,贾孟军,李昕欣.电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计[J].微纳电子技术,2003,40(7):309-311. |
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| 作者姓名： | 宋朝辉 贾孟军 李昕欣 |
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| 作者单位： | 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 摘 要： | 介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理。该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量，故驱动和检测间的耦合大大地减小。本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响，并针对初步确定的结构尺寸，利用COVENTE RWARE软件进行了静力学和动力学分析，对理论计算结果进行了验证。
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| 关 键 词： | 电磁驱动 电容检测 微机械陀螺 折叠梁 有限元分析 结构 工作原理 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07-08-0309-03 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Design of micromachined gyroscope with electromagnetic actuation and capacitive detection |
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