Zhp-2型火花源固体双聚焦质谱仪 |
| |
引用本文: | 王梦瑞. Zhp-2型火花源固体双聚焦质谱仪[J]. 物理, 1977, 6(6). |
| |
作者姓名: | 王梦瑞 |
| |
作者单位: | 中国科学院北京科学仪器厂 |
| |
摘 要: | 一、引言Zhp-2型火花源固体双聚焦质谱仪,是一种利用离子光学方法分析固体样品中微量杂质元素的大型仪器.它在物理学研究和应用工作中起着越来越重要的作用.随着近代科学技术的发展,新材料的应用越来越广泛.对超纯物质的纯度提出越来越高的要求.如半导体材料中某些微量杂质的存在,足以影响材料及器件的重要性能.因此,在生产工艺上必须加以控制,要求相对灵敏度达到10-8-10-10,甚至更高.迄今为止,具?...
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
| 点击此处可从《物理》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《物理》下载全文 |
|