| 两端固定音叉的力-频率关系及其非线性 |
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| 引用本文： | 陈志勇,周斌,张嵘,郭美凤.两端固定音叉的力-频率关系及其非线性[J].中国惯性技术学报,2008,16(3). |
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| 作者姓名： | 陈志勇 周斌 张嵘 郭美凤 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 两端固定音叉结构常被用作石英或硅振梁加速度计的敏感结构。论文的目的是建立两端固定音叉结构的固有频率与受力之间,及差动音叉结构频率差与受力之间的精确关系,研究差动音叉结构量程与非线性之间的联系。以梁的弯曲振动微分方程为基础,推导了在轴向力作用下两端固定的梁的固有振动角频率与轴向力之间的关系,并用多项式拟合;进一步得到差动音叉结构传感器的角频率差与轴向力之间的拟合多项式。梁的力-频率关系和差动音叉结构的力-频率差关系的5次多项式拟合误差分别低于0.0056%和0.0015%,并给出了敏感结构量程与输出非线性度之间的近似公式。这些公式可以为传感器的设计提供依据。
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| 关 键 词： | 振梁加速度计 频率 量程 非线性 |
Force-frequency relation and its nonlinearity of double-ended tuning fork |
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| CHEN Zhi-yong,ZHOU Bin,ZHANG Rong,GUO Mei-feng.Force-frequency relation and its nonlinearity of double-ended tuning fork[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2008,16(3). |
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| Authors: | CHEN Zhi-yong ZHOU Bin ZHANG Rong GUO Mei-feng |
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