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超短脉冲激光照射下氧化铝的烧蚀机理
引用本文:李晓溪,贾天卿,冯东海,徐至展.超短脉冲激光照射下氧化铝的烧蚀机理[J].物理学报,2004,53(7):2154-2158.
作者姓名:李晓溪  贾天卿  冯东海  徐至展
作者单位:中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
基金项目:国家重点基础研究项目(批准号:G1999075200)资助的课题.
摘    要:利用烧蚀面积与激光脉冲能量的线性关系,确定了氧化铝的破坏阈值,同时采用散射光探测法,研究了800和400nm超短脉冲激光作用下氧化铝的破坏阈值对激光脉宽的依赖关系,并探讨了氧化铝的烧蚀规律. 利用雪崩击穿模型,解释了实验结果,并讨论了导带电子光吸收机理. 关键词: 飞秒激光 氧化铝 破坏阈值 雪崩模型

关 键 词:飞秒激光  氧化铝  破坏阈值  雪崩模型
文章编号:1000-3290/2004/53(07)/2154-05
收稿时间:6/3/2003 12:00:00 AM

The mechanism of ablation of sapphire by an ultra-short pulse laser
Li Xiao-Xi,Jia Tian-Qing,Feng Dong-Hai and Xu Zhi-Zhan.The mechanism of ablation of sapphire by an ultra-short pulse laser[J].Acta Physica Sinica,2004,53(7):2154-2158.
Authors:Li Xiao-Xi  Jia Tian-Qing  Feng Dong-Hai and Xu Zhi-Zhan
Abstract:Based on the linear dependence of laser pulse energy on the ablation area, the ablation threshold fluence of sapphire is calculated in this paper. Meanwhile the threshold fluence of sapphire as a function of pulse duration is studied with an ultra-short pulse laser. The experimental results agree well with the theory of avalanche mode. Finally we discussed the photon absorption mechanism of the conduction band electrons in Al 2O 3.
Keywords:femtosecond laser  sapphire  threshold fluence  avalanche mode
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