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| 电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究 | |
| 作者姓名： | 何嘉辉 周鹏 余晖俊 沈文江 司金海 |
| 作者单位： | 1.西安交通大学 电子与信息工程学院,西安,710049 |
| 基金项目： | "青年千人计划"启动经费和国家重点研发计划(No.2016YFB0401903)资助 The Young Overseas High-level Talents Introduction Plan |
| 摘 要： | 基于微机电系统工艺,设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小,选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应,仿真结果与实际测得的结果一致.描述了振镜的工艺流程及封装方式,并制备了振镜.实验测得振镜在120mA静态电流驱动下,慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°,慢轴及快轴的谐振频率分别为348Hz及660Hz,并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中,使得散斑对比度下降到4.2%,激光成像质量得到很大提升. |
| 关 键 词： | 利萨如图形 有限元仿真 微机电系统 光学扫描 激光散斑 |
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