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Die Atomlagenabscheidung von Cobaltphosphid zum Zwecke einer effizienten Wasserspaltung
Authors:Haojie Zhang  Dr Dirk J Hagen  Prof Xiaopeng Li  Dr Andreas Graff  Dr Frank Heyroth  Dr Bodo Fuhrmann  Dr Ilya Kostanovskiy  Dr Stefan L Schweizer  Dr Francesco Caddeo  Prof A Wouter Maijenburg  Prof Stuart Parkin  Prof Ralf B Wehrspohn
Institution:1. Institut für Physik, Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Heinrich-Damerow-Straße 4, 06120 Halle, Saale, Deutschland;2. Max-Planck-Institut für Mikrostructurphysik, Weinberg 2, 06120 Halle, Saale, Deutschland;3. Staatliches Schlüssellabor für die Modifizierung chemischer Fasern und Polymermaterialien & Hochschule für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, Donghua University, Shanghai, 201620 China;4. Fraunhofer-Institut für Mikrostructur von Werkstoffen und Systemen, Walter-Hülse-Straße 1, Halle, Saale, Deutschland;5. Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften, Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Heinrich-Damerow-Straße 4, 06120 Halle, Saale, Deutschland;6. Zentrum für Innovationskompetenz SiLi-nano®, Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Karl-Freiherr-von-Fritsch-Straße 3, 06120 Halle, Saale, Deutschland
Abstract:
Keywords:Atomlagenabscheidung  Dünne Schichten  PH3-Plasma  Übergangsmetallphosphide  Wasserspaltung
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