| 微机电系统谐振器原子力显微镜探针设计与检测（英文） |
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| 引用本文： | 熊壮,Bernard Legrand.微机电系统谐振器原子力显微镜探针设计与检测（英文）[J].强激光与粒子束,2015(2):107-111. |
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| 作者姓名： | 熊壮 Bernard Legrand |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院电子工程研究所;Institut d’Electronique,de Microélectronique et de Nanotechnologie-IEMN CNRS UMR 8520,NAM6 Group,France |
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| 基金项目： | supported by National Natural Science Foundation of China(61404121) |
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| 摘 要： | 为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针,并成功实现了成像实验。为更进一步提高I2形探针的力灵敏度,从结构设计和检测方法入手,对原有探针进行改进。设计了简单有效的电阻差分检测方法,成功去处了输入端与输出端的耦合现象;采用局部离子注入的方法,提高了压阻敏感的传输效率。实验结果显示,在输入信号相同的条件下,改进后探针的输出信号与原有探针相比,输出信号得到了明显提高。计算结果表明,采用新方法制作的探针可使力灵敏度提高10倍以上。
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| 关 键 词： | 微机电系统谐振器 热执行 压阻敏感 原子力显微镜探针 |
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