| HgCdTe液相外延薄膜组分分布和内波的产生 |
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| 引用本文： | 黄为民,王亚敏,魏彦锋. HgCdTe液相外延薄膜组分分布和内波的产生[J]. 工程热物理学报, 2007, 28(3): 493-495 |
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| 作者姓名： | 黄为民 王亚敏 魏彦锋 |
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| 作者单位： | 上海理工大学动力工程学院,上海,200093;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
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| 摘 要： | 液相外延生长中的外延层晶体表面会出现波纹,大大降低了晶体的成材率.本文通过实验测量了同-HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,证明在外延生长后期的相变层中存在分层流,正是分层流中的内波固化造成了外延层晶体表面的波纹.数学模型和量级估计很好地支持了外延生长中的内波成因论,指出固液密度梯度决定的分层流本征频率N、上下液层相对密度比σ对波纹的产生有决定性影响.
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| 关 键 词： | 液相外延 HgCdTe 波纹 分层流 内波 |
| 文章编号： | 0253-231X(2007)03-0493-03 |
| 修稿时间： | 2007-01-19 |
HgCdTe LIQUID PHASE EPITAXIAL FILM COMPONENT DISTRIBUTION AND THE GENERATION OF INTERNAL WAVE |
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| HUANG Wei-Min,WANG Ya-Min,WEI Yan-Feng. HgCdTe LIQUID PHASE EPITAXIAL FILM COMPONENT DISTRIBUTION AND THE GENERATION OF INTERNAL WAVE[J]. Journal of Engineering Thermophysics, 2007, 28(3): 493-495 |
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| Authors: | HUANG Wei-Min WANG Ya-Min WEI Yan-Feng |
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| Keywords: | liquid phase epitaxy HgCdTe waviness stratified flow internal wave |
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