高温热氧化工艺统计模拟初探期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

高温热氧化工艺统计模拟初探

作者姓名：	沈燕辉何野魏同立

作者单位：	东南大学微电子中心(沈燕辉，何野)，东南大学微电子中心(魏同立)

摘要：	本文介绍一种高温热氧化工艺的统计模拟方法,并在此基础上对一种具体氧化工艺进行了计算和分析,指出了合理选择工艺参数的途径,对小尺寸集成电路器件的制造具有一定实际意义。
本文献已被 CNKI 等数据库收录！