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采用金刚石阴极的直流等离子体CVD法合成金刚石薄膜

引用本文：	松一.采用金刚石阴极的直流等离子体CVD法合成金刚石薄膜[J].等离子体应用技术快报,2000(6):9-10.

作者姓名：	松一

摘要：
关键词：	金刚石阴极直流等离子体CVD法金刚石薄膜
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