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| 硅纳米线的PECVD生长研究 | |
| 作者单位： | 绍兴文理学院,浙江,绍兴,312000;绍兴文理学院,浙江,绍兴,312000;绍兴文理学院,浙江,绍兴,312000;绍兴文理学院,浙江,绍兴,312000;绍兴文理学院,浙江,绍兴,312000;绍兴文理学院,浙江,绍兴,312000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家级大学生科技创新项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 硅纳米线 PECVD VLS机制 催化剂 硅纳米晶粒 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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