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AlGaN基深紫外LED的NiAu透明电极及其接触特性
作者单位:山西中科潞安紫外光电科技有限公司,山西 长治 046000;山西中科潞安紫外光电科技有限公司,山西 长治 046000;中国科学院半导体研究所 半导体照明技术研究开发中心,北京 100083
基金项目:山西省重点研发计划;山西省关键核心技术和共性技术研发攻关
摘    要:

关 键 词:UV-LED  AlGaN  NiAu  欧姆接触
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