n~ InSb/PHg_(1-x)Cd_xTe异质结的液相外延生长及红外探测器 |
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引用本文: | 吴长树,李炽.n~ InSb/PHg_(1-x)Cd_xTe异质结的液相外延生长及红外探测器[J].光学学报,1986(11). |
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作者姓名: | 吴长树 李炽 |
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作者单位: | 昆明物理研究所
(吴长树),昆明物理研究所(李炽) |
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摘 要: | 本文报道用水平滑舟系统液相外延制备n~ InSb/PHg_(1-x)Cd_(?)Te异质结.该异质结外延层厚度在15~25μm之间,由电镜扫描分析出外延层和衬底之间的介面平直,组分过渡很徒.采用该异质结能制备3~5μm(x=0.3)、8~14μm(x=0.2)两波段的红外探测器,从介绍的单元器件的性能来看,该材料是红外焦平面列阵研究方面极有希望的膺选对象.
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