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3.5~4.0μm低温光谱带通滤光片的设计与研制
作者姓名:蔡渊  刘定权  罗海瀚
作者单位:蔡渊:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
刘定权:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
罗海瀚:中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
摘    要:新一代气象卫星对红外带通滤光片的光谱控制提出了很高的要求:滤光片在工作温度(92K)下的光谱曲线被严格限定在一个由内、外框组成的区域之内。分别采用Ge和SiO作为高低折射率膜层材料,设计了含有4个谐振腔的带通膜系来提升通带边缘的陡度;对带通膜系中反射膜层的光学厚度进行了优化调整,压缩了通带内的波纹;根据膜层材料的折射率-温度变化特性,设计出了低温条件下符合光谱要求的带通滤光片。采用真空蒸发和光学极值监控的方法,研制出了92K低温下符合内、外框限制要求的带通滤光片,其通带内的峰值透射率达到93.2%,平均透射率达到91%,波纹幅度控制在5.2%以内。

关 键 词:薄膜  光学薄膜  带通滤光片  低温光谱  中波红外
收稿时间:2011-07-15
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