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| 中红外光参变振荡器在高反射率测量中的应用 | |
| 引用本文： | 高丽峰,熊胜明,黄伟,孔明东. 中红外光参变振荡器在高反射率测量中的应用[J]. 光学学报, 2008, 28(s1): 151-154 |
| 作者姓名： | 高丽峰 熊胜明 黄伟 孔明东 |
| 作者单位： | 高丽峰:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209 熊胜明:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209 黄伟:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209 孔明东:中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209 |
| 基金项目： | 国家863计划和国防科工委(58工程)资助课题。 |
| 摘 要： | 根据光腔衰荡光谱技术(CRDS)原理,使用中红外光参变振荡器(OPO)为光源建立了直腔与折叠腔相结合的中红外波段3.6 μm 反射率测量实验装置,用于研究中红外波段的高反射膜反射率,测试精度为10-4。使用直型衰荡光腔测试了三对不同薄膜材料设计镀制的高反射腔镜的反射率,并选择了一对腔镜用于实验装置中。采用该装置精确测试了不同薄膜材料镀制的高反射膜的反射率,包括YbF3/ZnS,YbF3 /ZnSe多层膜,以及由银加保护膜镀制的反射镜。研究表明,中红外波段介质膜的反射率可达到R>0.9990,其中由YbF3/ZnSe镀制在硅基底上的多层介质膜3.6 μm反射率可达到99.96％。 |
| 关 键 词： | 薄膜 反射率 光腔衰荡光谱技术(CRDS) 检测 |
Mid-IR Optical Parametric Oscillator for High Reflectivity Measurement |
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| Abstract: | A system for measuring high reflectivity of the coating at IR wavelength (3.6 μm) by cavity ring-down spectroscopy (CRDS) with straight cavity and fold cavity has been set up. The measurement precision approximates 10-4. It can be used to study high reflective IR coating on mirrors. Three kinds of coatings designed for cavity mirrors have been measured with the straight cavity CRDS, and a pair of cavity mirrors have been employed in experiment. Reflectivities of mirrors deposited by YbF3/ZnS,YbF3 /ZnSe and Ag added with protective coating were measured. The reflectivity of the dielectric coating can reach R>0.9990, and the reflectivity of YbF3 /ZnSe on silica substrate is 0.9996 at 3.6 μm. |
| Keywords: | thin films reflectivity cavity ring-down spectroscopy detection |