| 用扫描热显微镜测量微小区域热导性质的探讨 |
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| 引用本文： | 顾毓沁,晋宏师,孙晓毅,陈皓明,谢志刚. 用扫描热显微镜测量微小区域热导性质的探讨[J]. 工程热物理学报, 2000, 21(4): 456-460 |
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| 作者姓名： | 顾毓沁 晋宏师 孙晓毅 陈皓明 谢志刚 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学工程力学系,北京 100084
2. 清华大学现代应用物理系,北京 100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!59776031 |
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| 摘 要： | 随着高新技术的迅速发展，许多研究对象已进入亚微米和纳米范畴。在对这些对象的热性能和热可靠性的研究中，亚微米尺度的热物性测量已成为关键技术之一。例如：在微电子、微电子机械系统（MEMS）领域中，已使用纳米量级厚度的材质和做出纳米尺度线宽的器件。在材料科学、生物学、医学和化学等许多领域，高空间分辨率下的热物性测量也具有重要意义。本文经过实验；初步用扫描热显微镜判定了微小区域材料热导性质的差别，并从理论上探讨了用该仪器测量微小区域热导性质的方法原理。
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| 关 键 词： | 扫描热显微镜 热探针 热导率 |
| 文章编号： | 0253-231X(2000)04-0456-05 |
| 修稿时间： | 2000-01-14 |
DISCUSSION ON THERMAL CONDUCTIVITY MEA- SUREMENTS ON A MICRO-SCALE USING SCANNING THERMAL MICROSCOPE |
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| GU Yuqin,JIN Hongshi,SUN Xiaoyi,CHEN Haoming,XIE Zhigang. DISCUSSION ON THERMAL CONDUCTIVITY MEA- SUREMENTS ON A MICRO-SCALE USING SCANNING THERMAL MICROSCOPE[J]. Journal of Engineering Thermophysics, 2000, 21(4): 456-460 |
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| Authors: | GU Yuqin JIN Hongshi SUN Xiaoyi CHEN Haoming XIE Zhigang |
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| Abstract: | The application of scanning thermal microscope (SThM) in measurements of the thermal conductivity distribution, and then, the non-uniformity of materials on a micro-scale has been discussed. The thermal image obtained by SThM showed the thermal conductivity contrast of a silicon-silicon dioxide sample on a micrometer scale. The principle used to measure the thermal diffusivity and conductivity with high lateral resolution by SThM is proposed. |
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| Keywords: | scanning thermal microscope thermal tip thermal conductivity |
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