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基片表面预处理对热丝CVD法生长金刚石薄膜的影响

引用本文：	杨国伟,毛友德.基片表面预处理对热丝CVD法生长金刚石薄膜的影响[J].微细加工技术,1993(1):86-90.

作者姓名：	杨国伟毛友德

摘要：
关键词：	金刚石薄膜热丝化学气相沉积基片预处理
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