| 数字微镜器件及其应用 |
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| 引用本文： | 刘晓彦,关旭东.数字微镜器件及其应用[J].光电子技术,1998,18(2):98-103. |
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| 作者姓名： | 刘晓彦 关旭东 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子研究所!100871 |
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| 摘 要： | 数字微镜器件是一种新型的全数字化的平板显示器件，以其为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。本文将具体介绍数字微镜器件的工作原理、像素结构、制作工艺及图像显示原理等。
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| 关 键 词： | 数字微镜器件 投影显示技术 平板显示器件 |
Digital Micromirror Device and Its Application |
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| Liu Xiaoyan, Guan Xudong, Sun Wei ,Zhai Xiayun, Han Ruqi.Digital Micromirror Device and Its Application[J].Optoelectronic Technology,1998,18(2):98-103. |
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| Authors: | Liu Xiaoyan Guan Xudong Sun Wei Zhai Xiayun Han Ruqi |
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| Abstract: | ?Digital micromirror devlce is a kind of new digital flat panel display dcvice.Here the principles of its optical switching and signal display are describcd. The structure and the fabrication of digital micromirror device are also introduced in details. |
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| Keywords: | digital micromirror device project display MEMS |
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